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[2010] Seok-Jun Won, "Growth Behaviors and Electrical Properties …

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작성자 관리자 작성일16-05-09 21:43 조회275회 댓글0건

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Seok-Jun Won, Sungin Suh, Myung Soo Huh, Yu Jin Choi, and Hyeong Joon Kim,
"Growth Behaviors and Electrical Properties of Silicon Oxide in Atomic Layer Deposition Using Bis(ethyl-methyl-amino)silane",
53rd Annual Technical Conference Proceedings, 2010

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