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[2006] Jaeyeong Heo, "The Investigation on the Electrical Propert…

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작성자 관리자 작성일16-05-09 21:31 조회170회 댓글0건

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Jaeyeong Heo and Hyeong Joon Kim,
"The Investigation on the Electrical Properties of a-SiCO:H as a Diffusion Barrier to Copper",
ECS Transactions, Vol. 1, No. 11, pp. 51-56, 2006

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