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[2016] Sungin Suh, "Low-temperature SiON films deposited by plasm…

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작성자 관리자 작성일16-05-09 12:54 조회863회 댓글0건

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Sungin Suh, Seung Wook Ryu, Seongjae Cho, Jun-Rae Kim, Seongkyung Kim, Cheol Seong Hwang, and Hyeong Joon Kim,
"Low-temperature SiON films deposited by plasma-enhanced atomic layer deposition method using activated silicon precursor",
Journal of Vacuum Science and Technology A, Vol. 34, No. 1, pp. 01A136, 2016

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