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[2015] Hunhee Lee, "Comparative Study of 4H-SiC Epitaxial Layers …

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작성자 관리자 작성일16-05-09 12:53 조회661회 댓글0건

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Hunhee Lee, Hyunwoo Kim, Han Seok Seo, Dohyun Lee, Changhyun Kim, Suhyeong Lee, Hongjeon Kang, Jaeyeong Heo, and Hyeong Joon Kim,
"Comparative Study of 4H-SiC Epitaxial Layers Grown on 4o Off-Axis Si- and C-Face Substrates Using Bistrimethylsilylmethane Precursor",
ECS Journal of Solid State Science and Technology, Vol. 4, No. 8, pp. N89-N95, 2015

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