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[2012] Sungin Suh, "Investigation on spatially separated atomic l…

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작성자 관리자 작성일16-05-09 12:48 조회300회 댓글0건

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Sungin Suh, Sanghyun Park, Hajin Lim, Yu-Jin Choi, Cheol Seong Hwang, and Hyeong Joon Kim

"Investigation on spatially separated atomic layer deposition by gas flow simulation and depositing Al2O3 films"

Journal of Vacuum Science and Technology A, 30 (5), pp. 051504, 2012

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