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[2012] Changhyun Kim, "Comparison of thermal and atomic-layer-dep…

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작성자 관리자 작성일16-05-09 12:48 조회530회 댓글0건

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Changhyun Kim, Jeong Hyun Moon, Jeong Hyuk Yim, Do Hyun Lee, Jong Ho Lee, Hun Hee Lee, and Hyeong Joon Kim

"Comparison of thermal and atomic-layer-deposited oxides on 4H-SiC after post-oxidation-annealing in nitric oxide"

Applied Physics Letters, 100 (8), pp.082112, 2012

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