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[2012] Seok-Jun Won, "Growth and electrical properties of silicon…

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작성자 관리자 작성일16-05-09 12:47 조회2,707회 댓글0건

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Seok-Jun Won, Hyung-Suk Jung, Sungin Suh, Yu Jin Choi, Nae-In Lee, Cheol Seong Hwang, and Hyeong Joon Kim

"Growth and electrical properties of silicon oxide grown by atomic layer deposition using Bis(ethyl-methyl-amino)silane and ozone"

Journal of Vacuum Science and Technology A, Vol 30, No. 1, pp.01A126, 2011

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