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[2011] Seok-Jun Won, "Zirconium-assisted reaction in low temperat…

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작성자 관리자 작성일16-05-09 12:39 조회1,187회 댓글0건

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Seok-Jun Won, Joon Rae Kim, Sungin Suh, Yu Jin Choi and Hyeong Joon Kim

"Zirconium-assisted reaction in low temperature atomic layer deposition using Bis(ethyl-methyl-amino)silane and water"

Applied Surface Science, Volume 257, Issue 23, pp. 10311-10313 (2011)

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