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[2011] Seok-Jun Won, "Effect of Catalyst Layer Density and Growth…

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작성자 관리자 작성일16-05-09 12:38 조회3,166회 댓글0건

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Seok-Jun Won, Joon Rae Kim, Sungin Suh, Nae-In Lee, Cheol Seong Hwang, and Hyeong Joon Kim

"Effect of Catalyst Layer Density and Growth Temperature in Rapid Atomic Layer Deposition of Silica Using Tris(tert-pentoxy)silanol"

ACS Applied Materials & Interfaces, 3, 1633–1639 (2011)

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