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[2010] Seok-Jun Won, "High-Quality Low-Temperature Silicon Oxide …

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작성자 관리자 작성일16-05-09 12:37 조회1,619회 댓글0건

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Seok-Jun Won, Sungin Suh, Myung Soo Huh, and Hyeong Joon Kim

"High-Quality Low-Temperature Silicon Oxide by Plasma-Enhanced Atomic Layer Deposition Using a Metal–Organic Silicon Precursor and Oxygen Radical"

IEEE Electron Device Letters, Vol.31, No.8, pp.857-859 (2010)

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