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[2010] Seok-Jun Won, "Substrate Dependent Growth Rate of Plasma-E…

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작성자 관리자 작성일16-05-09 12:36 조회1,071회 댓글0건

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Seok-Jun Won, Sungin Suh, Sang Woon Lee, Gyu-Jin Choi, Cheol Seong Hwang and Hyeong Joon Kim

"Substrate Dependent Growth Rate of Plasma-Enhanced Atomic Layer Deposition of Titanium Oxide Using N2O Gas"

Electrochemical and Solid-State Letters, 13 (2), G13-G16 (2010)

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