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[2009] Jaeyeong Heo, "Atomic Layer Deposition of Ruthenium Nanop…

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작성자 관리자 작성일16-05-09 12:35 조회262회 댓글0건

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Jaeyeong Heo, Dail Eom, Sang Young Lee, Seok-Jun Won, Sanghyun Park, Cheol Seong Hwang, and Hyeong Joon Kim

"Atomic Layer Deposition of Ruthenium Nanoparticles Using a Low-Density Dielectric Film as Template Structure"

Chemistry of Materials, 21 (17), pp 4006–4011 (2009)

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