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[2009] Gyu-Jin Choi, "Plasma-Enhanced Atomic Layer Deposition of …

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작성자 관리자 작성일16-05-09 12:35 조회350회 댓글0건

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Gyu-Jin Choi, Seong Keun Kim, Seok-Jun Won, Hyeong Joon Kim, and Cheol Seong Hwang

"Plasma-Enhanced Atomic Layer Deposition of TiO2 and Al-Doped TiO2 Films Using N2O and O2 Reactants"

Journal of Electrochemical Society, 156 (9), G138-G143 (2009)

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