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[2009] Choon-Hwan Kim, "Pulsed CVD-W Nucleation Layer Using WF6 a…

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작성자 관리자 작성일16-05-09 12:35 조회366회 댓글0건

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Choon-Hwan Kim, Il-Cheol Rho, Soo-Hyun Kim, Il-Keoun Han, Hyo-Sang Kang, Seung-Wook Ryu, and Hyeong-Joon Kim

"Pulsed CVD-W Nucleation Layer Using WF6 and B2H6 for Low Resistivity W"

Journal of Electrochemical Society, Volume 156, Issue 9, pp. H685-H689 (2009)

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