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[2007] Jaeyeong Heo, "UV-O3 treatment effects on structural chang…

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작성자 관리자 작성일16-05-09 12:26 조회272회 댓글0건

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Jaeyeong Heo, Dail Eom and Hyeong Joon Kim

"UV-O3 treatment effects on structural changes of low-k thin films"

Microelectronic Engineering, 84, 2188-2191 (2007)

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