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[2006] Jaeyeong Heo, "Investigation into the Structural and Elect…

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작성자 관리자 작성일16-05-09 12:23 조회361회 댓글0건

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Jaeyeong Heo and Hyeong Joon Kim

"Investigation into the Structural and Electrical Properties of a-SiCO:H as a Diffusion Barrier to Copper"

Journal of The Electrochemical Society, Vol. 153 (10), pp. F228-F232 (2006)

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