[2005] Chihoon Lee, "Boron Diffusion Properties and Electrical Characteristics of p+ Poly-Si0.73Ge0.27/AlNx/Al2O3/AlNx/n-Si (100) using In-situ ALD" > International Journal

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[2005] Chihoon Lee, "Boron Diffusion Properties and Electrical Ch…

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작성자 관리자 작성일16-05-09 12:21 조회312회 댓글0건

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Chihoon Lee, Cheol Seong Hwang, and Hyeong Joon Kim

"Boron Diffusion Properties and Electrical Characteristics of p+ Poly-Si0.73Ge0.27/AlNx/Al2O3/AlNx/n-Si (100) using In-situ ALD"

Integrated Ferroelectrics, Vol. 74, pp. 79-85, (2005)

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