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[2005] Chihoon Lee, "The electrical and physical analysis of Pt g…

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작성자 관리자 작성일16-05-09 12:21 조회397회 댓글0건

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Chihoon Lee, Sang Yong No, Da Il Eom, Cheol Seong Hwang, and Hyeong Joon Kim

"The electrical and physical analysis of Pt gate/Al2O3/p-Si (100) with dual high-k gate oxide thickness for deep submicron complementary metal-oxide-semiconductor device with low power and high reliability"

Journal of Electronic Materials 34, 1804 (2005)

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