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[2005] Sang Yong No, "Study on the Step Coverage of Metallorganic…

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작성자 관리자 작성일16-05-09 12:20 조회302회 댓글0건

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Sang Yong No, Jin Ho Oh, Chung Bae Jeon, Mathias Schindler,Cheol Seong Hwang, and Hyeong Joon Kim

"Study on the Step Coverage of Metallorganic Chemical Vapor Deposited TiO2 and SrTiO3 Thin Films"

Journal of The Electrochemical Society, 152 (6), C435-C441 (2005)

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