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[2005] Sang Yeol Kang, "Improvements in Growth Behavior of CVD Ru…

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작성자 관리자 작성일16-05-09 12:20 조회176회 댓글0건

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Sang Yeol Kang, Cheol Seong Hwang, and Hyeong Joon Kim

"Improvements in Growth Behavior of CVD Ru Films on Film Substrates for Memory Capacitor Integration"

Journal of The Electrochemical Society, 152 (1), C15-C19, 2005

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