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[2004] Sang Yeol Kang, "Investigation of Ru/TiN Bottom Electrodes…

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작성자 관리자 작성일16-05-09 12:20 조회1,825회 댓글0건

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Sang Yeol Kang, Beom Seok Kim, Cheol Seong Hwang, Hyeong Joon Kim, Jin Yong Kim, Kwanghee Lee, Han-Jin Lim, Cha- Young Yoo and Sung-Tae Kim

"Investigation of Ru/TiN Bottom Electrodes Prepared by Chemical Vapor Deposition"

Japanese Journal of Applied Physics, Vol.43, No. 9B, 2004, pp.6635-6639

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