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International Conference

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작성자 관리자 작성일16-05-10 02:09 조회1,436회 댓글0건

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Dail Eom, Jaeyeong Heo, Seok-jun Won, Cheol Seong Hwang and Hyeong Joon Kim

 Atomic layer deposition of La-based oxide thin film using La[N(SiMe3)2]3 precuersor by a liquid injection system

 ALD 2008, June 29 – July 2, 2008, Bruges, Belgium

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