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Domestic Proceeding

[1994] 김선우, "BF2 이온 주입으로 형성된 a-Si 및 poly-si층을 혼합한 새로운 p+게이트 전극구조 …

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작성자 관리자 작성일16-05-11 09:59 조회164회 댓글0건

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김선우, 김기준, 손재현, 김형준
"BF2 이온 주입으로 형성된 a-Si 및 poly-si층을 혼합한 새로운 p+게이트 전극구조 특성연구"
제1회 한국반도체 학술대회 눈문집, pp.25-26, 1994

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