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[2001] 김윤해, "Intergration issues of the low-K SiOC film"

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작성자 관리자 작성일16-05-11 10:04 조회383회 댓글0건

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김윤해, 황무성, 김진용, 김형준

"Intergration issues of the low-K SiOC film"

제8회 반도체학술대회 논문집, pp. 417-419, 2001

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