[1999] 엄명윤, "N2O 플라즈마 열처리를 통한 폴리실리콘 TFT용 Ta2O5 게이트 박막의 전기적 특성향상에 관한 연구" > Domestic Proceeding

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Domestic Proceeding

[1999] 엄명윤, "N2O 플라즈마 열처리를 통한 폴리실리콘 TFT용 Ta2O5 게이트 박막의 전기적 특성향상에 …

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작성자 관리자 작성일16-05-11 10:01 조회229회 댓글0건

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엄명윤, 이석규, 김윤해, 김형준,

"N2O 플라즈마 열처리를 통한 폴리실리콘 TFT용 Ta2O5 게이트 박막의 전기적 특성향상에 관한 연구"

제6회 한국반도체 학술대회 눈문집, pp.253-254, 1999

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