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[1998] 김권석, "고집적 메모리소자의 캐패시터 전극용 백금 박막의 건식 식각 기술"

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작성자 관리자 작성일16-05-11 10:01 조회203회 댓글0건

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김권석, 김형준
"고집적 메모리소자의 캐패시터 전극용 백금 박막의 건식 식각 기술"
제5회 한국반도체 학술대회 눈문집, pp.295-296, 1998

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