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[1998] 김윤해, "N2O 플라즈마 열처리를 이용한 저유전율 SiOF 박막의 물성 안정화"

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작성자 관리자 작성일16-05-11 10:01 조회294회 댓글0건

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김윤해, 이석규, 엄명윤, 김형준
"N2O 플라즈마 열처리를 이용한 저유전율 SiOF 박막의 물성 안정화"
제5회 한국반도체 학술대회 눈문집, pp.259-260, 1998

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