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[1998] 이종명, "MOCVD법으로 증착된 고유전율 박막 전극용 Pt 박막의 특성분석"

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작성자 관리자 작성일16-05-11 10:00 조회184회 댓글0건

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이종명, 황철성, 석창길, 김형준
"MOCVD법으로 증착된 고유전율 박막 전극용 Pt 박막의 특성분석"
제5회 한국반도체 학술대회 눈문집, pp.251-252, 1998

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