[1995] 방욱, "새로운 원료물질 bis-trimethylsilylmethane을 이용한 Si(100) 기판에의 beta-SiC 박막의 증착거동" > Domestic Proceeding

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[1995] 방욱, "새로운 원료물질 bis-trimethylsilylmethane을 이용한 Si(100) 기판에의…

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작성자 관리자 작성일16-05-11 10:00 조회156회 댓글0건

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방욱, 김형준
"새로운 원료물질 bis-trimethylsilylmethane을 이용한  Si(100) 기판에의 beta-SiC 박막의 증착거동"
제3회 다이아몬드 심포지움 논문집, pp.101-105, 1995

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