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[1995] 김기준, "저압화학증착법을 이용한 텅스텐 게이트 전극의 증착기구와 전기적 특성"

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작성자 관리자 작성일16-05-11 09:59 조회165회 댓글0건

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김기준, 손재현, 김선우, 박지수, 김형준
"저압화학증착법을 이용한 텅스텐 게이트 전극의 증착기구와 전기적 특성"
제2회 한국반도체 학술대회 논문집, pp.95-114, 1995

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