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[1991] 김선우, "CVD에 의한 Ta2O5 박막의 성장 및 물성 분석"

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작성자 관리자 작성일16-05-11 09:55 조회90회 댓글0건

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김선우, 김형준
"CVD에 의한 Ta2O5 박막의 성장 및 물성 분석"
Proceeding of the 1st conference of the korea vacuum society, pp.121-125, 1991

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