[2000] 이석규, "MOCVD Bi4Ti3O12 박막의 실리콘 위에서의 증착기구 및 유기금속원료의 펄스주입법에 의한 박막 특성 개선" > Domestic Journal

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[2000] 이석규, "MOCVD Bi4Ti3O12 박막의 실리콘 위에서의 증착기구 및 유기금속원료의 펄스주입법에 의…

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작성자 관리자 작성일16-05-10 03:01 조회218회 댓글0건

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이석규, 김준형, 최두현, 황민욱, 엄명윤, 김윤해, 김진용, 김형준,
"MOCVD Bi4Ti3O12 박막의 실리콘 위에서의 증착기구 및 유기금속원료의 펄스주입법에 의한 박막 특성 개선",
Journal of Korean Vacuum Science & Technology, Vol.9, No.4, pp.373-378, 2000

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