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[2000] M. W. Hwang, "Phosphorus doping in silicon thin films usin…

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작성자 관리자 작성일16-05-10 03:01 조회214회 댓글0건

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M. W. Hwang, M. Y. Um, Y. H. Kim, S. K. Lee, H. J. Kim, and W. Y. Park,
"Phosphorus doping in silicon thin films using a two-zone diffusion method",
Journal of Korean Vacuum Science & Technology, Vol.4, No.3, pp.73-77, 2000

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